簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Sensors".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="微影製程"


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    應用微影製程開發氣體感測器之研究
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 蔡豔雪 指導教授: 黃佑民
    • 摘 要 科技的進步,對環境的汙染日趨嚴重,於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞;而在日常生活中,每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生,因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外,…
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    應用指叉狀微電極於生物感測器之研究
    • 化學工程系 /101/ 博士
    • 研究生: 黃浩閔 指導教授: 王孟菊 李嘉平
    • 本研究利用半導體黃光微影技術,以石英為基材,製作壓電式IDA微金電極,IDA微金電極之線寬與長度分別為7.894 μm與2245.3 μm。本論文研究分成三部分:(1) 以二氧化矽保護層與四氟化碳 …
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    • 全文公開日期 2018/08/06 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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